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MEMS加速度计工作原理介绍

加速率计道理

1.1 加速率计由MEMS传感器与旌旗灯号处置惩罚芯片组成。

1.2 MEMS加速率计事情道理

由上电容、中电容板(可移动)、下电容板等组成;当加速率达到必然值后,中电容板会移动,与上、下电容板的间隔就会变更,上、下电容是以变更。电容变更跟加速率成比(如下面公式),经由过程对输出电压数字处置惩罚后,输出数字化旌旗灯号。

如图:

公式:(1) Vs = ( (Cs1-Cs2)/(Cs1+Cs2) ) * Vm   ;输出电压为电容电压变更部分;vm(输入电压)

(2) 由容的定义可得出电容的大年夜小与位移之间的关系:

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